Yra trys pagrindiniai UV lazerių tipai.
Diodu pumpuojamas kietojo kūno lazeris
Pirmasis yra diodu pumpuojamas kietojo kūno lazeris (DPSS) Nd: YAG Q-Switch, kuriame dubliavimo kristalai naudojami 1064 nm infraraudonųjų spindulių bangos ilgiui pakeisti ir perjungti į 355 nm ultravioletinių spindulių bangos ilgį.
Spindulio forma yra Gauso, todėl dėmė bus apvali ir energijos intensyvumas palaipsniui mažės nuo centro link krašto. Spindulį galima sufokusuoti į 10 µm dydžio taškus.
Iš esmės, kaip ir visi kietojo kūno lazeriai, šie ultravioletiniai lazeriai yra jautrūs temperatūros pokyčiams.
Dėl didelio operacijos kartojimo greičio ir labai mažo ploto, kuriame jie veikia, šie lazeriai yra tinkamiausi mikroapdirbimui.
Eksimerinis lazeris
Antrasis UV lazerio tipas yra dujinis lazeris, eksimerinis lazeris. Šio lazerio bangos ilgis priklauso nuo naudojamo dujų mišinio tipo ir svyruoja nuo 180 nm iki daugiau nei 300 nm.
Sukurtas spindulys nėra apvalus, o stačiakampio formos su daugiau ar mažiau pastoviu intensyvumo pasiskirstymu. Kaukės gali būti naudojamos tam tikroms dėmių geometrijoms generuoti.
Metalinis garų lazeris
Trečioji UV lazerių rūšis yra metalo garų lazeris. Vario garų lazeris yra dažniausiai naudojamas, nors gali būti naudojami ir daugelio kitų metalų garai.
Vario garų lazeriai generuoja 511 nm ir 578 nm bangos ilgių spinduliuotę. Spindulio forma yra Gauso, todėl lazeris tinkamas naudoti toms pačioms reikmėms kaip ir kietojo kūno ultravioletinis lazeris.